электронно-лучевая установка для изготовления шаблонов

elektronpluoštis kaukių gamybos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron-beam mask processor vok. Elektronenstrahlmaskenschreiberanlage, f rus. электронно-лучевая установка для изготовления шаблонов, f pranc. installation de génération des masques par faisceau d'électrons, f